De l'enveloppe de salle blanche au raccordement des équipements de processus — nous concevons des installations de fabrication de semi-conducteurs. Salles blanches ISO Classe 1-8, eau ultrapure 18.2 MOhm-cm.
ISO Class 1-8 cleanrooms with laminar flow, fan filter units (FFU), air showers, pass-throughs, gowning areas, and ESD-safe flooring.
Process tool connections: gas, chemical, UPW, exhaust, electrical, and data. Valve manifold boxes (VMB) and interface units (VMB/IU) for all tools.
UPW generation: pretreatment, reverse osmosis, ion exchange, membrane degas, and final polishing to 18.2 MOhm-cm resistivity with TOC < 1 ppb.
Livraison produits chimiques/gaz
Extraction et abattement
Real-time cleanroom monitoring: particle count, temperature, humidity, pressure differential, utility status, and alarm management with SCADA integration.
| Specification | Value | Notes |
|---|---|---|
| Cleanroom Class | ISO Class 1-8 | Laminar / turbulent flow |
| UPW Resistivity | 18.2 MOhm-cm | TOC < 1 ppb, particles < 0.05um |
| UPW Capacity | Up to 200 m3/hr | Multi-stage RO + DI |
| Chemical Delivery | Acid, base, solvent | Bulk + point-of-use |
| Gas Systems | Process, inert, toxic | Gas cabinets + VMB |
| Abatement | Scrubber + thermal | PFC, SiH4, acid gas |
| Build Timeline | 24-52 weeks | From design to qualification |
| Standards | SEMI S2, F57, E10 | Semiconductor industry |
Échantillonnage sur site, mesure des débits et caractérisation de l'infrastructure existante et des exigences de rejet.
Sélection de la filière de traitement, dimensionnement des équipements, implantation 3D et modélisation hydraulique avec analyse de redondance.
Installation mécanique, électrique et de commande par équipes internes avec protocoles FAT/SAT.
Validation des performances, optimisation, formation des opérateurs et documentation complète.
Indiquez vos exigences d'installation, objectifs de production et calendrier. Notre équipe d'ingénierie répondra avec une portée préliminaire sous 3 jours ouvrés.
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