MCLANTIS semiconductor cleanroom engineering
DOMAINE MC-ICF · FABRICATION CI

Ingénierie d' Usine de CI

De l'enveloppe de salle blanche au raccordement des équipements de processus — nous concevons des installations de fabrication de semi-conducteurs. Salles blanches ISO Classe 1-8, eau ultrapure 18.2 MOhm-cm.

ISO Class 1
SALE BLANCHE
18.2 MΩ·cm
RÉSISTIVITÉ UPW
24-52 wks
DURÉE DE CONSTRUCTION
MCLANTIS semiconductor cleanroom engineering

Ce que nous concevons en usine CI

Conception/construction salle blanche

ISO Class 1-8 cleanrooms with laminar flow, fan filter units (FFU), air showers, pass-throughs, gowning areas, and ESD-safe flooring.

Raccordement équipements

Process tool connections: gas, chemical, UPW, exhaust, electrical, and data. Valve manifold boxes (VMB) and interface units (VMB/IU) for all tools.

Eau ultrapure (UPW)

UPW generation: pretreatment, reverse osmosis, ion exchange, membrane degas, and final polishing to 18.2 MOhm-cm resistivity with TOC < 1 ppb.

Chemical & Gas Delivery

Livraison produits chimiques/gaz

Exhaust & Abatement

Extraction et abattement

Surveillance installations (FMCS)

Real-time cleanroom monitoring: particle count, temperature, humidity, pressure differential, utility status, and alarm management with SCADA integration.

Normes d'ingénierie CI

SpecificationValueNotes
Cleanroom ClassISO Class 1-8Laminar / turbulent flow
UPW Resistivity18.2 MOhm-cmTOC < 1 ppb, particles < 0.05um
UPW CapacityUp to 200 m3/hrMulti-stage RO + DI
Chemical DeliveryAcid, base, solventBulk + point-of-use
Gas SystemsProcess, inert, toxicGas cabinets + VMB
AbatementScrubber + thermalPFC, SiH4, acid gas
Build Timeline24-52 weeksFrom design to qualification
StandardsSEMI S2, F57, E10Semiconductor industry

Livraison en quatre phases

01

Audit effluents/installations

Échantillonnage sur site, mesure des débits et caractérisation de l'infrastructure existante et des exigences de rejet.

02

Conception de procédé

Sélection de la filière de traitement, dimensionnement des équipements, implantation 3D et modélisation hydraulique avec analyse de redondance.

03

Installation et intégration

Installation mécanique, électrique et de commande par équipes internes avec protocoles FAT/SAT.

04

Mise en service et livraison

Validation des performances, optimisation, formation des opérateurs et documentation complète.

Quelles classes de salle blanche MCLANTIS peut-elle construire ?
MCLANTIS conçoit et construit des salles blanches de la classe ISO 8 (100 000) à la classe ISO 1 (1), avec flux laminaire, réseaux FFU, douches à air et zones d'habillage.
Comment la qualité de l'eau ultrapure est-elle maintenue ?
Les systèmes UPW utilisent un prétraitement multi-étages, osmose inverse, échange ionique, dégazage membranaire et oxydation UV. La résistivité est surveillée en continu à 18,2 MOhm-cm.
Quels systèmes de sécurité sont inclus pour la manipulation de produits chimiques/gaz ?
Tous les systèmes chimiques et de gaz incluent détection de fuites, vannes d'arrêt automatiques, ventilation d'extraction, surveillance des gaz et systèmes d'urgence conformes aux normes SEMI S2.
Combien de temps dure un projet typique d'usine à CI ?
Une installation complète d'usine à CI dure de 24 à 52 semaines selon la taille et la classe de salle blanche. Les rénovations plus petites peuvent être achevées en 12-16 semaines avec une perturbation de production minimale.

Discutez de votre projet d'ingénierie

Indiquez vos exigences d'installation, objectifs de production et calendrier. Notre équipe d'ingénierie répondra avec une portée préliminaire sous 3 jours ouvrés.

Contacter l'équipe d'ingénierie