What cleanroom classes can MCLANTIS build?

MCLANTIS designs and builds cleanrooms from ISO Class 8 (100,000) down to ISO Class 1 (1), with laminar flow for critical areas and turbulent flow for support spaces.

How is ultrapure water quality maintained?

UPW systems use multi-stage pretreatment, reverse osmosis, ion exchange, membrane degas, and final polishing. Resistivity is maintained at 18.2 MOhm-cm with continuous TOC and particle monitoring.

What safety systems are included for chemical/gas handling?

All chemical and gas systems include leak detection, automatic shutoff valves, exhaust ventilation, emergency power, and compliance with SEMI S2 safety guidelines and local fire codes.

How long does a typical IC fab project take?

A full IC fab facility ranges from 24 to 52 weeks depending on size and cleanroom class. Smaller retrofits or tool hook-up projects can be completed in 8-16 weeks.

MCLANTIS semiconductor cleanroom engineering

BEREICH MC-ICF · IC-FERTIGUNG

IC-Fabrik- Engineering

Von der Reinraumbegrenzung bis zum Prozessgeräte-Anschluss — wir planen Halbleiterfertigungsanlagen. ISO Klasse 1-8 Reinräume, 18,2 MOhm-cm Reinstwasser, Chemie- und Gasversorgung.

ISO Class 1

REINRAUM

18.2 MΩ·cm

REINSTWIDERSTAND

24-52 wks

BAULAUFZEIT

ENGINEERING-LEISTUNGEN

Was wir in der IC-Fabrik planen

Reinraum-Design und -bau

ISO Class 1-8 cleanrooms with laminar flow, fan filter units (FFU), air showers, pass-throughs, gowning areas, and ESD-safe flooring.

Equipment Hook-up

Process tool connections: gas, chemical, UPW, exhaust, electrical, and data. Valve manifold boxes (VMB) and interface units (VMB/IU) for all tools.

Reinstwasser (UPW)

UPW generation: pretreatment, reverse osmosis, ion exchange, membrane degas, and final polishing to 18.2 MOhm-cm resistivity with TOC < 1 ppb.

Chemical & Gas Delivery

Chemie- und Gasversorgung

Exhaust & Abatement

Abluft und Abgasreinigung

Anlagenüberwachung (FMCS)

Real-time cleanroom monitoring: particle count, temperature, humidity, pressure differential, utility status, and alarm management with SCADA integration.

TECHNISCHE SPEZIFIKATIONEN

IC-Engineering-Standards

Specification	Value	Notes
Cleanroom Class	ISO Class 1-8	Laminar / turbulent flow
UPW Resistivity	18.2 MOhm-cm	TOC < 1 ppb, particles < 0.05um
UPW Capacity	Up to 200 m3/hr	Multi-stage RO + DI
Chemical Delivery	Acid, base, solvent	Bulk + point-of-use
Gas Systems	Process, inert, toxic	Gas cabinets + VMB
Abatement	Scrubber + thermal	PFC, SiH4, acid gas
Build Timeline	24-52 weeks	From design to qualification
Standards	SEMI S2, F57, E10	Semiconductor industry

AUSFÜHRUNGSMETHODIK

Vier-Phasen-Lieferung

Abwasser-/Anlagen-Audit

Vor-Ort-Beprobung, Durchflussmessung und Charakterisierung der bestehenden Infrastruktur und Einleitungsanforderungen.

Prozessdesign

Auswahl der Behandlungsstrecke, Geräteauslegung, 3D-Layout und hydraulische Modellierung mit Redundanzanalyse.

Installation und Integration

Mechanische, elektrische und Steuerungsinstallation durch interne Teams mit FAT/SAT-Protokollen.

Inbetriebnahme und Übergabe

Leistungsvalidierung, Optimierung, Bedienerschulung und vollständige Dokumentation.

HÄUFIG GESTELLTE FRAGEN

Welche Reinraumklassen kann MCLANTIS bauen?

MCLANTIS plant und baut Reinräume von ISO Klasse 8 (100.000) bis hinunter zu ISO Klasse 1 (1), mit laminarer Strömung, FFU-Arrays, Luftduschen und Umkleidebereichen.

Wie wird die Reinstwasserqualität aufrechterhalten?

UPW-Systeme nutzen mehrstufige Vorbehandlung, Umkehrosmose, Ionenaustausch, Membranentgasung und UV-Oxidation. Der Widerstand wird kontinuierlich bei 18,2 MOhm-cm überwacht.

Welche Sicherheitssysteme sind für den Chemikalien-/Gasumfang enthalten?

Alle Chemikalien- und Gassysteme umfassen Leckerkennung, automatische Absperrventile, Ablüftung, Gasüberwachung und Notfallsysteme, die den SEMI S2-Standards entsprechen.

Wie lange dauert ein typisches IC-Fab-Projekt?

Eine vollständige IC-Fab-Anlage dauert je nach Größe und Reinraumklasse 24 bis 52 Wochen. Kleinere Nachrüstungen können in 12-16 Wochen mit minimaler Produktionsunterbrechung abgeschlossen werden.

Besprechen Sie Ihr Engineering-Projekt

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