MCLANTIS semiconductor cleanroom engineering
DOMÍNIO MC-ICF · FABRICAÇÃO DE CI

Engenharia de Fábrica de CI

Do envelope de sala limpa à conexão de equipamentos de processo — projetamos instalações de fabricação de semicondutores. Salas limpas ISO Classe 1-8, água ultrapura 18.2 MOhm-cm, entrega de químicos e gases.

ISO Class 1
SALA LIMPA
18.2 MΩ·cm
RESISTIVIDADE UPW
24-52 wks
PRAZO DE CONSTRUÇÃO
MCLANTIS semiconductor cleanroom engineering

O que projetamos na fábrica de CI

Projeto/Construção Sala Limpa

ISO Class 1-8 cleanrooms with laminar flow, fan filter units (FFU), air showers, pass-throughs, gowning areas, and ESD-safe flooring.

Conexão de Equipamentos

Process tool connections: gas, chemical, UPW, exhaust, electrical, and data. Valve manifold boxes (VMB) and interface units (VMB/IU) for all tools.

Água Ultrapura (UPW)

UPW generation: pretreatment, reverse osmosis, ion exchange, membrane degas, and final polishing to 18.2 MOhm-cm resistivity with TOC < 1 ppb.

Chemical & Gas Delivery

Fornecimento Químicos/Gases

Exhaust & Abatement

Exaustão e Abatimento

Monitoramento de Instalações (FMCS)

Real-time cleanroom monitoring: particle count, temperature, humidity, pressure differential, utility status, and alarm management with SCADA integration.

Padrões de engenharia de CI

SpecificationValueNotes
Cleanroom ClassISO Class 1-8Laminar / turbulent flow
UPW Resistivity18.2 MOhm-cmTOC < 1 ppb, particles < 0.05um
UPW CapacityUp to 200 m3/hrMulti-stage RO + DI
Chemical DeliveryAcid, base, solventBulk + point-of-use
Gas SystemsProcess, inert, toxicGas cabinets + VMB
AbatementScrubber + thermalPFC, SiH4, acid gas
Build Timeline24-52 weeksFrom design to qualification
StandardsSEMI S2, F57, E10Semiconductor industry

Entrega em quatro fases

01

Auditoria de Efluentes/Instalações

Amostragem no local, medição de vazão e caracterização da infraestrutura existente e requisitos de descarga.

02

Design de Processo

Seleção da linha de tratamento, dimensionamento de equipamentos, layout 3D e modelagem hidráulica com análise de redundância.

03

Instalação e Integração

Instalação mecânica, elétrica e de controles por equipes internas com protocolos FAT/SAT.

04

Comissionamento e Entrega

Validação de desempenho, otimização, treinamento de operadores e pacote completo de documentação.

Quais classes de sala limpa a MCLANTIS pode construir?
A MCLANTIS projeta e constrói salas limpas da Classe ISO 8 (100.000) até a Classe ISO 1 (1), com fluxo laminar, matrizes de FFU, chuveiros de ar e áreas de paramentação.
Como é mantida a qualidade da água ultrapura?
Os sistemas UPW usam pré-tratamento multiestágio, osmose reversa, troca iônica, desgaseificação por membrana e oxidação UV. A resistividade é monitorada continuamente a 18,2 MOhm-cm.
Quais sistemas de segurança estão incluídos para manuseio de químicos/gases?
Todos os sistemas químicos e de gás incluem detecção de vazamento, válvulas de fechamento automático, ventilação de exaustão, monitoramento de gás e sistemas de resposta a emergências em conformidade com os padrões SEMI S2.
Quanto tempo leva um projeto típico de fábrica de CI?
Uma instalação completa de fábrica de CI varia de 24 a 52 semanas, dependendo do tamanho e da classe da sala limpa. Retrofits menores podem ser concluídos em 12-16 semanas com interrupção mínima da produção.

Discuta seu projeto de engenharia

Informe seus requisitos de instalação, metas de produção e cronograma. Nossa equipe de engenharia responderá com um escopo preliminar em até 3 dias úteis.

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